Kido mar Masinde mag Goyo Piche mag Plasma

Gik ma ICP tiyogo ahinya gin gi migepe ang’wen: kama ng’ato nyalo ng’adoe gik moko, kama ng’ato nyalo ng’adoe gik moko, sistem mar chiwo gas kod sistem mar ng’ado gik moko.

(1) Kapok - ot ma ongee gimoro

Tich mar ot ma ng’ato ok ng’iyogo gimoro en neno ni ot ma ng’ato nyalo ng’iyoe gik moko ochung’ e rang’iny ma oseket, ok oketh gik ma ni oko (kaka buru, muya mar pi), kendo oketo gas ma nyalo kelo hinyruok mabor gi ot maler. Oting'o umo, masin mar loso, yor oro wach, dhoot mapogo, kod mamoko.

(2) Od loso

Kambi mar loso gik moko en gik madongo ma loso gige loso gik moko mag ICP. En gi teko maduong’ ahinya e wi ng’injo ma itiyogo, kaka ng’injono ochung’ tir, kod kaka ng’injono bedo ma ok ng’ich. Gik madongo mag ot mar loso gik moko gin: elektrod ma malo, kar frekwensi mar redio mar ICP, kar frekwensi mar redio mar RF, sistem mar elektrod ma piny, sistem mar rito liet, kod mamoko.

(3) Sistem mar chiwo gas

Sistem mar chiwo gas en mar tero gas mopogore opogore mag ng’ado e ot mar ng’ado, kendo rito e yo makare kaka gas ng’ado kendo ng’ado kokalo kuom gino ma rito presa (PC) kod gino ma rito ng’ado (MFC). Sistem mar chiwo gas nigi chumbe ma gas wuokie, paip mar kero gas, sistem mar tayo, yunit mar riwre, kod mamoko.

(4) Sistem mar golo muya
Nitie sistem ariyo mag ng’ado mtoka, achiel en mar mtoka ma ng’ato ok nyal ng’eyo kapok - ng’ato otho, to machielo en mar ng’ado mtoka ma ng’ato nyalo ng’ado. Kambe ma ng’ato ok nyal ng’iewo gimoro, igolo oko gi pamp ma tiyo gi masin. En mana ka kwan mar vakum ma ni e ot ma nigi vakum motelo ochopo e kwan ma ne oket, e ma inyalo yawo dhoot mar keto ng’ato oko mondo oter wafer. Vakuum ma ni e ot ma ilosoe gik moko yudore gi pamp mar masin kod pamp mar molekul. Gas ma wuok kuom gik ma timore e ot ma itiyogo e loso gik moko bende igolo oko kokalo kuom sistem mar vacuum.